الكلمات المفتاحية
التذرية المغنترونية
المعاملة الحرارية
قياس التغلغل النانوي
كيفية الاقتباس
الملخص
تمثل الافلام الرقيقة المكونة من مواد كاربيدية او نايتريدية ذات اهمية فائقة في مجال الصناعة لما لها من خواص ميكانيكية ممتازة مثل الصلادة اضافة الى امكانية الطلاء بدرجات حرارية واطئة تخدم السطوح الحساسة لدرجات عالية. في هذا البحث تمت دراسة تاثير نسبة الكاربون على الخواص الميكانيكية ممثلة بمعامل المرونة لافلام رقيقة من كاربيد التيتانيوم المنتج بواسطة التذرية المغنترونية لمدى معين من التراكيب الكيمياوية. وقد لوحظ ان هنالك استقرارية للخواص البنيوية للطور الناتج مع نسبة الكاربون المضافه حيث ان الطورالناتج هو في الغالب لكاربيد التيتانيوم بغض النظرعن نسبة الكاربون من حدود 34% الى غاية اقل من 65%. لوحظ ارتباط الخواص الميكانيكية للطورالكاربيدي بنسبة الكاربون. حيث تزداد الخواص الميكانيكية ( تزداد الصلادة) للطورالمنتج لغاية نسبة كاربون بمقدار 50% وثم تبدا بالتناقص بنسب كاربون اعلى. قد تشير هذه النتائج الى علاقة وثيقة بين الخواص البنيوية (Microstructure) والميكانيكية من جهة وبين الاجهادات المتبقية في الفلم الناتج من جهة ثانية.
حقوق الطبع والنشر: يحتفظ مؤلفو الوصول المفتوح بحقوق الطبع والنشر لاعمالهم، ويتم توزيع جميع مقالات الوصول المفتوح بموجب شروط ترخيص Creative Commons Attribution License، والتي تسمح بالاستخدام غير المقيد والتوزيع والاستنساخ في أي وسيط، بشرط ذكر العمل الأصلي بشكل صحيح. إن استخدام الأسماء الوصفیة العامة، والأسماء التجاریة، والعلامات التجاریة، وما إلی ذلك في ھذا المنشور، حتی وإن لم یتم تحدیدھ بشکل محدد، لا یعني أن ھذه الأسماء غیر محمیة بموجب القوانین واللوائح ذات الصلة. في حين يعتقد أن المشورة والمعلومات في هذه المجلة صحيحة ودقيقة في تاريخ صحتها، لا يمكن للمؤلفين والمحررين ولا الناشر قبول أي مسؤولية قانونية عن أي أخطاء أو سهو قد يتم. لا يقدم الناشر أي ضمان، صريح أو ضمني، فيما يتعلق بالمواد الواردة في هذه الوثيقة.